S系列集成單軸--三軸的緊湊型壓電掃描臺:·壓電陶瓷堆疊驅動 ·無摩擦柔順結構導向 ·亞納米級位置分辨率·內置電容傳感器,閉環控制 ·長行程運動范圍 ·直接位置檢測
S100/200/300.X & S500.X
生產廠家
2026-04-03
702
大范圍線性運動中空掃描臺:超安靜運動 納米級分辨率 ·全行程運動中,保證通孔·XY一體式組合結構·內置高精度光學位置傳感器 ·斷電位置自保持 ·可與高精度壓電掃描臺堆疊組合
Carrier系列
生產廠家
2026-04-03
719
三自由度并聯運動臺:超安靜運動 ·納米級分辨率 ·斷電位置自保持 ·并聯驅動結構 ·內置高精度光學位置傳感器 靈活的可定制方案
Free3D.ZTxTy.070
生產廠家
2026-03-06
870
六自由度并聯運動臺:超安靜運動 納米級分辨率 ·斷電位置自保持·內置高精度光學位置傳感器 并聯驅動結構 高剛性系統
Free6D.3-2.070
生產廠家
2026-03-06
898
長行程線性位移臺:超安靜運動 ·納米級分辨率 斷電位置自保持內置高精度光學位置傳感器 ·多種行程規格
Indus系列
生產廠家
2026-03-04
787

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