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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁(yè)  -  產(chǎn)品中心  -  光機(jī)產(chǎn)品  -  常溫壓電位移臺(tái)  -  Speed系列高速壓電位移臺(tái)

高速壓電位移臺(tái)
產(chǎn)品簡(jiǎn)介

高速壓電位移臺(tái):靜音運(yùn)動(dòng);高運(yùn)動(dòng)速度;閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制;納米級(jí)分辨率。

產(chǎn)品型號(hào):Speed系列
更新時(shí)間:2026-05-14
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問(wèn)量:711
詳細(xì)介紹在線留言

“Speed系列”高速壓電位移臺(tái)——LS50x.Speed

產(chǎn)品特色

 

· 靜*運(yùn)動(dòng)

· 高運(yùn)動(dòng)速度

· 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制

· 納米級(jí)分辨率

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1

可選版本

.NM,絕**磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

50 × 50 × 14 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版  鋁合金,鋼:120 g;.HV/.UHV:鈦,鋼:150 g;.NM 鈦,陶瓷:130 g

4

運(yùn)動(dòng)行程

24 mm

5

速度范圍

默認(rèn):5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s

6

驅(qū)動(dòng)力

2 N

7

保持力

3 N

8

水平方向使用*大負(fù)載

2 kg

9

豎直方向使用*大負(fù)載

100 g

10

雙向重復(fù)定位精度

± 250 nm

11

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

12

最小步伐(開(kāi)環(huán))

50 nm

13

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

14

位置傳感器分辨率

2 nm

15

線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包線,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器規(guī)格

MC-Doppler系列

“Speed系列”線性位移臺(tái)——LS65x.Speed

產(chǎn)品特色

 

· 靜*運(yùn)動(dòng)

· 高運(yùn)動(dòng)速度

· 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制

· 納米級(jí)分辨率

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1

可選版本

.NM,絕**磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

65 × 65 × 15 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版  鋁合金,鋼:200 g;.HV/.UHV:鈦,鋼:270 g;.NM 鈦,陶瓷:240 g

4

運(yùn)動(dòng)行程

30 mm

5

速度范圍

默認(rèn):5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s

6

驅(qū)動(dòng)力

3 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用*大負(fù)載

3 kg

9

豎直方向使用*大負(fù)載

150 g

10

雙向重復(fù)定位精度

± 250 nm

11

全行程俯仰/偏擺

0.3 mrad

12

最小步伐(開(kāi)環(huán))

50 nm

13

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

14

位置傳感器分辨率

2 nm

15

線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包線,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器規(guī)格

MC-Doppler系列

“Speed系列”線性位移臺(tái)——LS105x.Speed

產(chǎn)品特色

 

· 靜*運(yùn)動(dòng)

· 高運(yùn)動(dòng)速度

· 閉環(huán)運(yùn)動(dòng)控制

· 納米級(jí)分辨率

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1

可選版本

.NM,絕**磁版本;

.HV,高真空版本;

.UHV,超高真空版本;

2

外形尺寸

105 × 105 × 20 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版  鋁合金,鋼:660 g;.HV/.UHV:鈦,鋼:960 g;.NM 鈦,陶瓷:910 g

4

運(yùn)動(dòng)行程

60 mm

5

速度范圍

默認(rèn):5 mm/s ~ 200 mm/s ;.HV & .UHV 版本:5 mm/s ~ 20 mm/s

6

驅(qū)動(dòng)力

4 N

7

保持力

5 N

8

水平方向使用*大負(fù)載

5 kg

10

雙向重復(fù)定位精度

± 250 nm

11

全行程俯仰/偏擺

0.2 mrad

12

最小步伐(開(kāi)環(huán))

50 nm

13

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

14

位置傳感器分辨率

2 nm

15

線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜D-Sub15;.UHV版本:Kapton 漆包線,D-Sub15 (PEEK)

16

控制器規(guī)格

MC-Doppler系列

“Speed系列”旋轉(zhuǎn)位移臺(tái) — RS65.Speed

產(chǎn)品特色

 

· 高扭矩

· 高轉(zhuǎn)速

· 閉環(huán)控制,內(nèi)置光柵位置傳感器

· 空間緊湊

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1

可選版本

.NM,絕**磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本

2

外形尺寸

65 × 65 × 25 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版 /.NM 鋁合金:330 g;.HV/.UHV 鈦合金:360 g

4

運(yùn)動(dòng)行程

360°

5

速度范圍

默認(rèn):60 °/s ~ 720 °/s;.HV & .UHV 版本:推薦使用 60 °/s

6

*大負(fù)載

2 kg

7

額定力矩

0.5 N·m

8

*大力矩

0.8 N·m

9

保持力矩

0.8 N·m

10

最小步伐

15 μrad

11

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

12

位置傳感器分辨率

1 μrad

13

線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

14

控制器規(guī)格

MC–Doppler 系列

“Speed系列”旋轉(zhuǎn)位移臺(tái) — RS105.Speed

產(chǎn)品特色

 

· 高扭矩

· 高轉(zhuǎn)速

· 閉環(huán)控制,內(nèi)置光柵位置傳感器

產(chǎn)品圖片&尺寸

產(chǎn)品參數(shù)

1

可選版本

.NM,絕**磁版本;.HV,高真空版本;.UHV,超高真空版本

2

外形尺寸

105 × 135 × 23 mm

3

主體材料

標(biāo)準(zhǔn)版 /.NM 鋁合金:800 g;.HV/.UHV 鈦合金:1 kg

4

運(yùn)動(dòng)行程

360°

5

速度范圍

默認(rèn):1.3 °/s ~ 360 °/s;.HV & .UHV 版本:推薦使用 36 °/s

6

*大負(fù)載

5 kg

7

額定力矩

0.4 N·m

8

*大力矩

0.6 N·m

9

保持力矩

0.6 N·m

10

最小步伐

0.75 μrad

11

位置傳感器類型

光學(xué)位置傳感器

12

位置傳感器分辨率

1 μrad

13

線纜 & 接頭

默認(rèn):屏蔽線纜 D–Sub15;.UHV 版本:Kapton 漆包線,D–Sub15 (PEEK)

14

控制器規(guī)格

MC–Doppler 系列

 

 

 

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